Электронная спектроскопия и атомные процессы на поверхности кремния

М.: Наука, 1985. - 200 с. В монографии описаны результаты исследований физических процессов на поверхности чистого кремния, полученные в основном методами вторичной электронной эмиссии. Рассмотрены методы оже-электронной спектроскопии, дифракции медленных электронов, спектроскопии характеристических потерь энергии электронами, фотоэлектронной спектроскопии. Излагаются сведения о геометрической и электронной структуре поверхности чистого кремния. Приводятся результаты работ по процессам окисления и нитридизации кремния. Рассматриваются процессы формирования границ металл-кремний, диффузии металлов на поверхности кремния.
Монография рассчитана на научных работников, инженеров, технологов, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физики поверхности полупроводников.